(参考)
播磨科学公園都市内にある先端科学技術施設
○放射光施設 SPring-8
・透過性の高い硬X線を使用し、表面から深いところの構造の分析評価が可能。重元素の分析に向いている。
・大気中での分析が可能。
・国(文部科学省)の管轄下にある共用施設で(独)理化学研究所が所有。
・兵庫県が設置した2本の専用ビームラインを兵庫県立大学産学連携・研究推進機構が管理運営。
○X線自由電子レーザー施設 SACLA
・SPring-8に隣接し世界最小・最短波長・最高輝度を誇る世界一のX線レーザー施設。
・国(文部科学省)の管轄下にある共用施設で(独)理化学研究所が所有。
○放射光施設 ニュースバル
・吸収が強い軟X線を使用し、表面状態の構造分析が可能。軽元素の分析に向いている。
・吸収が強い長所を生かした微細加工に適しており、現在の機械加工技術では、不可能なμmレベル以下の3次元微細加工が可能。
・真空中で分析。
・兵庫県立大学高度産業科学技術研究所が管理。